Micro-elektromechanische systemen of kortweg MEMS, zijn kleine systemen in silicium substraten die uit een combinatie van elektronische en mechanische componenten bestaan. Alle componenten van MEMS zijn op een silicium substraat gezet via lithografische technieken. De MEMS componenten zijn vervaardigd via "micromachining" processen, die gebruikmaken van technologieën die ook gebruikt worden om geintegreerde schakelingen (IC's) te fabriceren.

Bij  NXP in Nijmegen worden verschillende MEMS componenten vervaardigd.  Microresonatoren worden gezien als de opvolger van de al oude kristallen die elektronische componenten aansturen via een klokfrequentie. De eisen die aan deze producten worden gesteld zijn uiteraard hoog, zo mag de frequentie niet variëren met de temperatuur en moet het ook stabiel blijven gedurende hun levensduur.

Naast deze eisen moeten de specificaties ook worden vastgelegd in verband met de maakbaarheid van de resonatoren. In dit kader werden simulaties verricht om de stabiliteit van de oscillatiefrequentie te bepalen. Ook werden de dimensies van de oscillator gevarieerd om de stabiliteit van het productieproces te bepalen. Tevens werden de invloed van de temperatuur en de vacuümdruk meegenomen. De complexe multi-fysische simulaties resulteerde in een set van specificaties voor de productieomgeving, zodat de producten met een laag uitval percentage geproduceerd kunnen worden